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精密水蒸氣發(fā)生器，通過精密注射泵控制進液量，通過相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進行換熱轉化成水蒸氣?？梢苑€(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。相變汽化模塊不僅具有蒸發(fā)混合穩(wěn)定的特點，而且具有非常寬的蒸發(fā)范圍，應該范圍較廣泛。
使用環(huán)境：
使用環(huán)境：0～50℃ ,0～80%RH
進氣要求：壓力＞0.1Mpa（無雜質）
進水要求：蒸餾水或去離子水（超純水）
精密水蒸氣發(fā)生器工藝流程圖：
1.通過控制面板設定和觀察氣化模塊升溫溫度；
2.儲罐中的去離子水，通過恒流泵加入精密蒸發(fā)器中，去離子水得流量連續(xù)可調；
3.精密蒸發(fā)器將液態(tài)水100%蒸發(fā)，并且保證蒸汽流量波動小于2%；
4.過熱蒸汽通過SUS316L管道通入流量控制器（選配）中，將高溫水蒸氣穩(wěn)定輸送到相應位置。
產品參數：
| 品名 | 精密水蒸汽發(fā)生器 |
| 型號 | SG-10A |
| 氣體發(fā)生器 | |
| 流量范圍（液態(tài)） | 1mL/min-10mL/min |
| 精度 | ±1% |
| 相變汽化器 | 鋁合金／SUS316L |
| 出口溫度 | 110℃-300℃（可按要求定制過熱蒸汽） |
| 壓力 | 常壓（可按要求定制） |
| 壽命 | ≥5年 |
| 響應時間 | 5秒 |
| 功率 | 300瓦（依據汽化量變化） |
| 外形尺寸 | 可根據客戶實際需求定制 |
| 注射泵（流量大壓力高選雙柱塞泵） | |
| 每微步注射量 | 0.13uL |
| 線速度范圍 | 4.69u1/min-270.00m1/min |
| 流量范圍 | 0.0001uL/min-158.909m1/min |
| 線性推力 | >3kgf |
| 控制精度 | 當>30%滿行程時，控制誤差≤±0.5％ |
典型客戶：
廣西大學
天津大學
中科院熱物理研究所
華中科技大學
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